长程大型非球面轮廓测量仪的研究 上传者：simonxzq 2021-02-22 02:34:48上传 PDF文件 1.82MB 热度 31次 总结了常用大型非球面光学元件轮廓检测方法及其特点。详细阐述了用于同步辐射光学元件检测的长程面形仪的基本原理、发展阶段、关键技术、误差补偿、现状及发展方向。并介绍了合肥国家同步辐射实验室长程面形仪的进展。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
