激光镜镜面粗糙度的干涉测量
开发了一种激光镜镜面粗糙度的全场、非接触干涉测量方法。测量了两面不同粗糙度的铜镜,测出的数据和用6JA型显微干涉轮廓仪测量的结果相吻合。测量的范围为0.01~0.12 μm,理论上测量的精度可达0.002 μm。它对镜面抛光过程的控制有实际意义。
下载地址
用户评论
