1. 首页
  2. 数据库
  3. 其它
  4. 超外差超光滑表面粗糙度的测量

超外差超光滑表面粗糙度的测量

上传者: 2021-02-23 00:04:51上传 PDF文件 1.4MB 热度 13次
本文用纵向塞曼双频稳频He-Ne激光器作光源,采用光学超外差技术与相位高精度测量相结合.测量超光滑光学表面粗糙度,测量灵敏度为0.1nm量级.实验结果与理论分析相符合,且与其他测量方法进行了比较.
下载地址
用户评论