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测量微观不平度的90°相移激光干涉仪

上传者: 2021-02-19 13:45:58上传 PDF文件 788.61KB 热度 15次
叙述了测量微观不平度的90°相移激光干涉仪的原理和构成。对这种新型干涉仪的性能及有关问题作了讨论。测量结果的计算和样品扫描的控制,由个人计算机完成。垂直分辨率达1um,横向分辨率达10μm。实验结果证明了系统的稳定性。
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