测量微观不平度的90°相移激光干涉仪 上传者:baidu_32033 2021-02-19 13:45:58上传 PDF文件 788.61KB 热度 15次 叙述了测量微观不平度的90°相移激光干涉仪的原理和构成。对这种新型干涉仪的性能及有关问题作了讨论。测量结果的计算和样品扫描的控制,由个人计算机完成。垂直分辨率达1um,横向分辨率达10μm。实验结果证明了系统的稳定性。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 baidu_32033 资源:495 粉丝:0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台,下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容!联系邮箱:server@dude6.com