自动激光干涉仪

美国欧普托(OPTO)机构公司已研制出一种自动激光干涉仪。此种仪器具有以计算机修正的自动动力数字读出,以便在车间环境中提供实验室内才能作到的测量精度。该系统由三个部分组成:带有干涉仪光学系统的传烕器、激射光源、干涉条纹传烕器与电子前置放大器;反射器,包括一个装在可调架上的玻璃四角棱镜;和具有测量显示数字读出与环境校淮计算机的控制台。以立方角反射镜对传感器的相对运动产生的激光干涉条纹的电子计数来测量位移。此种装置轻便可提,易于装设,并能迅速联接到机器上,进行具有干涉法精度的校准或测量。