蚀刻工艺YES蚀刻过程分为两类: 上传者：henceforth94414 2021-01-10 01:34:28上传 DOCX文件 166.12KB 热度 19次 为了在基板上形成功能性的MEMS结构,必须蚀刻先前沉积的薄膜和/或基板本身。通常,蚀刻过程分为两类: 浸入化学溶液后材料溶解的湿法蚀刻 干蚀刻,其中使用反应性离子或气相蚀刻剂溅射或溶解材料 在下文中,我们将简要讨论最流行的湿法和干法蚀刻技术。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 henceforth94414 资源：2 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
