-
为了在基板上形成功能性的MEMS结构,必须蚀刻先前沉积的薄膜和/或基板本身。通常,蚀刻过程分为两类:...
大小:166.12KB | 2021-01-10 01:34:28 -
为了在基板上形成功能性的MEMS结构,必须蚀刻先前沉积的薄膜和/或基板本身。通常,蚀刻过程分为两类:...
大小:166.12KB | 2021-01-10 01:34:28
Ta的上传资源列表