henceforth94414 这家伙很懒,什么也没写 资源:2 粉丝:0
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  • 为了在基板上形成功能性的MEMS结构,必须蚀刻先前沉积的薄膜和/或基板本身。通常,蚀刻过程分为两类:...

    大小:166.12KB | 2021-01-10 01:34:28
  • 为了在基板上形成功能性的MEMS结构,必须蚀刻先前沉积的薄膜和/或基板本身。通常,蚀刻过程分为两类:...

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