微机电系统(MEMS)是一种技术

微机电系统(MEMS)是一种技术,其最一般的形式可以定义为使用微细加工技术制成的小型机械和机电元件(即设备和结构)。MEMS器件的关键物理尺寸可能从尺寸范围的下端的一微米以下到几毫米不等。同样,MEMS装置的类型可以从没有运动元件的相对简单的结构变化到在集成微电子的控制下具有多个运动元件的极其复杂的机电系统。MEMS的一个主要标准是至少有一些元件具有某种机械功能,而无论这些元件是否可以移动。用于定义MEMS的术语在世界各地有所不同。在美国,它们主要被称为MEMS,而在世界其他地区,它们被称为“微系统技术”或“微机械设备”。