微机电系统技术mems基础.rar
ppt为哈尔滨工业大学MEMS课件之一，需要的自取
课程主要内容：
微系统概述
微机电系统功能材料
微机械制造技术
微机械执行器
微机械传感器
微机械弱信号检测与处理
设计与软件介绍
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