传感技术中的微机械惯性传感器检测平台的设计与应用

微机械惯性传感器检测平台的设计与应用 摘要:一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台,介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法。 关键词:微机电系统(MEMS) 微机械陀螺(MMG) 检测 随着科学技术的发展,许多新的科学领域相继涌现,其中微米/纳米技术就是诸多领域中引人注目的一项前沿技术。20世纪90年代以来,继微米/纳米技术成功应用于大规模集成电路制作后,以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础的各种微传感器和微机电系统(MEMS)脱颖而出,平均年增长率达到30%。微机械陀螺是其中的一个重要组成部分。目前,世界