RF功率MOSFET产品及工艺

Name: RF功率MOSFET产品及工艺
Rating: 4.5 (40 reviews)
Author: 小张张张张

上传者：小张张张张 2020-10-28 06:42:19上传 PDF文件 95.16KB 热度 40次

本文通过分析RF功率LDMOSFET的性能和结构特征,设计出RF功率LDMOSFET器件结构,通过工艺和器件模拟确定了关键参数,并设计了一套符合6寸芯片生产线的制造工艺流程,对工艺中的难点提出了解决方案。

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