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微影技术日益精进 半导体工艺持续成长

上传者: 2020-09-14 16:51:05上传 PDF文件 109.55KB 热度 13次
半导体工业在光学微影技术的帮助下,长期形成持续且快速的成长态势,但光学微影在面对更精密的制程已开始出现应用瓶颈,尤其在小于0.1微米或更精密的制程,必须使用先进光学微影或非光学微影术予以克服。
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