离子注入的铝在Si(100)表面的偏析及其引起的纳米团簇和合金晶粒形成现象的实验研究 上传者：摩羯行僧 2020-08-22 04:06:43上传 PDF文件 856.83KB 热度 36次 离子注入的铝在Si(100)表面的偏析及其引起的纳米团簇和合金晶粒形成现象的实验研究,高皓,廖龙忠,通过高温退火注入了铝的Si(100)样品,探讨偏析出来的铝在硅表面的热力学行为。由900 oC的退火实验发现,偏析出来的铝原子一方面形成Si 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
