热退火对离子注入制备Si纳米晶发光性能的影响 上传者：箛獨 2020-06-15 17:02:09上传 PDF文件 884.76KB 热度 47次 热退火对离子注入制备Si纳米晶发光性能的影响，周小东，任峰，本文采用离子注入法将Si离子注入到非晶SiO2介质中，并结合热退火处理制备了Si纳米晶。系统研究了热退火条件对Si纳米晶光致发光（PL） 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
