光催化辅助抛光单晶硅的抛光液研制 上传者：qq_93130 2020-08-20 08:18:34上传 PDF文件 289.95KB 热度 45次 光催化辅助抛光单晶硅的抛光液研制,苑泽伟,杜海洋,:随着电子信息技术高速发展,集成电路等电子元件大量应用,如何高效获取超平坦晶圆已成为当前的主要研究方向。为实现硅晶圆全局 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
