重视成品率问题:蓝宝石材质对LED晶片加工过程的影响之案例研究.pdf
本文展示了GT先进技术公司(GT)所进行的一项研究的结果,总结了蓝宝石材料的质量对外延生长(即开即用型)晶片制造过程的影响。
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