蓝宝石晶片中微/纳米缺陷散射特性的仿真

基于广义Lorenz-Mie理论, 对蓝宝石晶片中微体缺陷的散射特性进行了仿真, 分析了散射光接收位置、缺陷大小、入射光波长对散射光强的影响。结果表明:前向散射方向上的空间散射光强信息量最大, 检测结果最准确; 缺陷大小对散射光强分布具有显著影响, 可以将散射光强分布曲线的特征作为判断缺陷大小的依据; 入射光波长越小, 测量越准确。