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利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测

上传者: 2020-07-29 07:23:34上传 PDF文件 380.63KB 热度 23次
摘要:简要介绍了双频激光干涉仪的组成和工作原理,并介绍了一种快速调整激光干涉仪准直的方法以及检测机床定位精度时的注意事项.
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