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论文研究 0.13微米CMOS逻辑器件的电容微缩实现 .pdf

上传者: 2020-07-27 23:30:54上传 PDF文件 473.66KB 热度 11次
0.13微米CMOS逻辑器件的电容微缩实现,宋锴焱,成中敏,本篇文章主要研究了对0.13微米CMOS逻辑器件进行90%微缩后,电容层的微缩工艺的实现;在0.13微米平台的基础上对介电层的沉积厚度以及介
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