论文研究 CMOS工艺的电容湿度传感器的研究 .pdf
CMOS工艺的电容湿度传感器的研究，杨建红，王敬松，对与COMS工艺兼容的电容式湿度传感器的进行了分析与研究,设计了一种三明治型传感器，结合以往实验及相关的文献，对其工艺进行了改�
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