1. 首页
  2. 课程学习
  3. 专业指导
  4. Untitled.mph

Untitled.mph

上传者: 2020-07-21 02:23:50上传 MPH文件 3.78MB 热度 28次
化学气相沉积是半导体工业经常使用的工艺,用于在晶片衬底上生长高纯度硅,基于comsol对超高真空化学气相沉积进行模拟,依靠输入流量和压力控制,可得到表面气相分布分数。
下载地址
用户评论