论文研究 内嵌铂纳米颗粒的Al2O3/ZrO2绝缘层的介电增强 .pdf 上传者：houguof 2020-07-18 02:58:44上传 PDF文件 1.24MB 热度 27次 内嵌铂纳米颗粒的Al2O3/ZrO2绝缘层的介电增强，朱宝，刘骐萱，本文采用原子层淀积技术生长了铂纳米颗粒、Al2O3和ZrO2薄膜，研究了铂纳米颗粒的引入对Al2O3/ZrO2绝缘层介电性能的影响。结果表明，与Al 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
