特殊光电晶体碲锌镉光滑无损伤化学机械抛光

Name: 特殊光电晶体碲锌镉光滑无损伤化学机械抛光
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Author: shenbin_91061

上传者：shenbin_91061 2020-07-17 21:56:44上传 PDF文件 1.24MB 热度 47次

特殊光电晶体碲锌镉光滑无损伤化学机械抛光，张振宇，郭东明，本文采用Al2O3作研磨剂和SiO2纳米球酸性化学机械抛光液的新工艺对特殊光电功能晶体碲锌镉进行了化学机械抛光研究，并与研磨－机械抛

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