1. 首页
  2. 移动开发
  3. 其他
  4. 6H SiC晶片集群磁流变研磨工艺优化

6H SiC晶片集群磁流变研磨工艺优化

上传者: 2020-07-17 17:58:30上传 PDF文件 569.21KB 热度 14次
6H-SiC晶片集群磁流变研磨工艺优化,刘其,阎秋生,本文采用集群磁流变研磨方法对单晶6H-SiC基片进行研磨试验,以材料去除率和表面粗糙度为评价指标,分析了不同种类磨粒与羰基铁粉的
下载地址
用户评论