DBD HWCVD沉积硅薄膜的研究

Name: DBD HWCVD沉积硅薄膜的研究
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Author: rogerswoo

上传者：rogerswoo 2020-07-17 11:00:18上传 PDF文件 340.68KB 热度 46次

DBD-HWCVD沉积硅薄膜的研究，张春丽，刘艳红，介质阻挡放电（DBD）等离子体增强热丝化学气相(HWCVD)沉积技术延承了PE-HWCVD技术沉积速率高的特点，同时降低了其中高能离子对薄膜的损

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