直流溅射沉积在多孔硅上的ZnO薄膜

ZnO现在是用于发光或透明电子导体的迷人半导体氧化物材料。 通过直流溅射技术，我们在多孔硅上沉积了ZnO薄膜，多孔硅被称为基于硅的发光材料。 在室温下进行沉积，然后对样品进行退火以提高ZnO的结晶质量。 将我们的结果与在Si晶片上形成的结果进行比较的讨论表明，在X射线衍射测量范围内，多孔硅上的ZnO具有更好的结晶质量。