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不同a C单层厚度对a C/a C:Ti纳米多层复合薄膜机械性能及摩擦性能的影响

上传者: 2020-07-17 07:39:30上传 PDF文件 1.18MB 热度 14次
不同a-C单层厚度对a-C/a-C:Ti纳米多层复合薄膜机械性能及摩擦性能的影响,蔡建宾,王秀丽,采用闭合场非平衡磁控溅射方法在医用钛合金基底上制备不同a-C单层厚度的a-C/a-C:Ti纳米多层复合薄膜,控制a-C膜层与a-C:Ti膜层厚度的比�
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