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Growth and characteristics of La2O3 gate dielectric prepared by low pressure met

上传者: 2020-07-17 02:51:31上传 PDF文件 536.15KB 热度 19次
用MOCVD方法制备La2O3薄膜及其性能的研究,程进波,李爱东,本文主要介绍在硅衬底上用MOCVD方法生长La2O3薄膜。文中对薄膜的生长条件、界面性能及电学性能进行了研究。在600℃下生长的非晶La2O3薄
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