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论文研究 氢氟酸乙二醇混合溶液在STI横向刻蚀工艺中的应用 .pdf

上传者: 2020-07-16 16:54:07上传 PDF文件 452.37KB 热度 20次
氢氟酸乙二醇混合溶液在STI横向刻蚀工艺中的应用,李阳柏,程秀兰,本文介绍了横向刻蚀工艺在STI工艺中的作用,氢氟酸乙二醇混合溶液在STI横向刻蚀工艺中的应用。并研究了氢氟酸乙二醇混合溶液中氢氟
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