论文研究TMBS 器件刻蚀工艺优化的研究 .pdf
TMBS器件刻蚀工艺优化的研究，徐晨余，，本文主要阐述了TMBS（沟槽MOS势垒肖特基二极管）的器件形貌改善经过及结果，并详细介绍了该类型器件围绕刻蚀工艺变更而对各项工艺��
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