微流控器件的刻蚀工艺试验 上传者：hnstorm 2020-05-11 06:11:09上传 PDF文件 444.46KB 热度 44次 微流控器件的刻蚀工艺试验，傅新，谢海波，以氢氟酸作为主要刻蚀剂，选用不同成分的添加剂（氟化铵、硝酸、盐酸、浓硫酸等）按不同比例调配成刻蚀液，进行对比性实验，研究 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
