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论文研究空间3DOF柔性微动操控平台的设计和分析 .pdf

上传者: 2020-06-12 09:11:32上传 PDF文件 924.23KB 热度 12次
空间3-DOF柔性微动操控平台的设计和分析,伍万能,吴贵元,随着科学技术的发展,生物医学、精密加工和光纤操作等领域对微米或纳米级的操作需求越来越多。本文设计了一种以PZT为驱动器,采用
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