使用CadenceVirtuoso设计MEMS电路的教程.pdf

伴随着传感技术在汽车和消费电子产品的迅速普及，微机电系统（MEMS）在最近几年已进入主流。为了控制及信号调理，基于MEMS的传感器必然需要密切耦合的电子电路。电子电路要么独立于MEMS，要么和MEMS在一个裸片中嵌入 到模拟/混合信号集成电路中。MEMS设计通常需要一个使用三维机械CAD和有限元工具来进行功能验证的专家团队；而IC设计是通过EDA工具，如CadenceVirtuoso客户设计环境，来实现。传统上，MEMS设计人员手工制作了Verilog- A模型以便放入到IC设计中去。这些手工制作的模型往往过于简单，而且非参数化。此外，创建这些