在MEMS芯片上设计微电话阵列用于气动声学测量的教程.pdf

我们已经开发出了基于微机电系统的芯片上的微电话阵列并应用于气动声学测量。该阵列设计用于测量湍流边界层（TBL）下存在的波动压力。每个芯片尺寸为1平方厘米，包含64个可单独寻址的电容式感应麦克风，中心间距为鈭鈭5mm。包括封装在内的表面拓扑结构保持小于0.13mm。从最小到最敏感，阵列中的元件到元件的灵敏度变化小于±2.5dB，相位变化小于±6.5°（1kHz）。麦克风3-dB带宽为700Hz至200kHz，麦克风在高达150dBSPL的声压级下呈线性，优于0.3％。采用独特的开关架构系统电子和封装方法来减少数据采集通道数量要求，并保持低表面粗糙度。