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CMTa/CTi异质薄膜的Pechini方法制备及结构分析

上传者: 2020-05-18 06:02:57上传 PDF文件 464.58KB 热度 22次
CMTa/CTi异质薄膜的Pechini方法制备及结构分析,李桂芬,周静,采用Pechini方法制备了CMTa及CTi前驱体溶液,采用液相旋涂技术按照一定的排布方式制备了CMTa/CTi异质叠层薄膜,分析了叠层方式对薄膜结�
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