多晶TaNx薄膜的电输运性质研究

Name: 多晶TaNx薄膜的电输运性质研究
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Author: 一方21883

上传者：一方21883 2020-05-14 02:52:37上传 PDF文件 758.95KB 热度 50次

多晶TaNx薄膜的电输运性质研究，周定邦，刘新典，利用射频溅射法在石英玻璃基底上制备了一系列面心立方结构的多晶TaNx薄膜，并对其晶体结构和2-350K温度范围的电子输运性质进行了系�

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