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论文研究VI/III族源输入摩尔比对氧化镓薄膜结晶质量和光学特性的影响 .pdf

上传者: 2020-03-30 14:44:38上传 PDF文件 532.07KB 热度 27次
Ⅵ/Ⅲ族源输入摩尔比对氧化镓薄膜结晶质量和光学特性的影响,冯艳彬,夏晓川,本文利用低压金属有机物化学气相沉积方法,以高纯氧气和三乙基镓为反应源,在不同氧源和镓源摩尔比(Ⅵ/Ⅲ比)条件下,在c面蓝宝�
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