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氧分压对ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响

上传者: 2020-01-03 20:15:30上传 PDF文件 773.97KB 热度 47次
氧分压对ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响,董武军,张庆瑜,利用脉冲激光沉积技术,在同一沉积温度(750℃)、不同沉积气压的条件下,在Si(100)基片上制备了未掺杂的高c轴取向的ZnO薄膜。通过扫�
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