论文研究化学液相沉积Al2O3薄膜钝化p型黑硅 .pdf 上传者：CSDN阿坤 2020-02-22 12:52:01上传 PDF文件 474.49KB 热度 41次 化学液相沉积Al2O3薄膜钝化p型黑硅，李永祥，郭婉，本文采用易操作成本低的化学液相沉积法（CLD）在p型黑硅衬底上沉积了均匀的Al2O3钝化层,研究了不同退火温度（300、600和900℃）对钝化�� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
