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Mg掺杂GaN快速热退火性质的研究

上传者: 2020-02-18 20:02:34上传 PDF文件 440.84KB 热度 25次
Mg掺杂GaN快速热退火性质的研究,郭浩,宋世巍,利用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在蓝宝石衬底上生长了Mg掺杂的GaN薄膜,并在氮气气氛下,不同的温度条件下对样品进行了快速热�
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