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论文研究VIAETCH后芯片清洗工艺的改进和良率的提高 .pdf

上传者: 2019-09-27 20:25:59上传 PDF文件 1.35MB 热度 18次
VIA-ETCH后芯片清洗工艺的改进和良率的提高,王云波,,随着半导体工艺的发展,清洗工艺的作用是越来越重要。在很多道制造工艺中会用到清洗制程,来达到减低芯片表面缺陷的目的。在硅片
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