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论文研究闪光退火在28纳米工艺中的整合 .pdf

上传者: 2019-09-23 18:14:51上传 PDF文件 1.14MB 热度 20次
闪光退火在28纳米工艺中的整合,邱裕明,黄其煜,闪光退火具有修复能力好,退火时间选择范围广等优点被应用于28纳米及以下集成电路制造工艺中。然而,在退火过程中,由于存在正面�
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