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论文研究 150纳米砷化镓工艺片上螺旋电感建模 .pdf

上传者: 2020-07-19 16:40:14上传 PDF文件 310.92KB 热度 12次
150纳米砷化镓工艺片上螺旋电感建模,缪英武,,本文对某150纳米砷化镓工艺中的片上螺旋电感进行等效电路建模。根据半导体厂家所提供的工艺参数,通过电磁场全波仿真软件对片上电
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