论文研究Super junction结构4HSiC同质外延生长和肖特基器件制备 .pdf 上传者:aishangjiajiaolaoshi 2020-01-01 03:20:34上传 PDF文件 786.21KB 热度 25次 Superjunction结构4H-SiC同质外延生长和肖特基器件制备,宋庆文,张玉明,基于水平式低压热壁化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition-CVD)生长系统,采用Al离子注入后进行二次外延生长的方法,成功的在N型4H-SiC�� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 aishangjiajiaolaoshi 资源:19607 粉丝:2 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台,下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容!联系邮箱:server@dude6.com