该文详细介绍了如何利用应变诱导硅技术来提高纳米级MOSFET的性能。通过掌握沟道应力的大小与分布，以...

针对现实需求，本文探索了在器件尺寸不断缩小的情况下，提高器件性能的新技术——应变增强沟道迁移率等。为...