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半导体线空间图案缺陷检测的优化方法研究

上传者: 2023-06-19 14:44:00上传 PDF文件 20.33MB 热度 8次

本文在深度学习技术领域中,以YOLOv7模型为基础,研究半导体缺陷检测问题。文章介绍了不同超参数对于YOLOv7模型检测性能的影响,并通过实验找出哪些参数可以提高半导体线空间图案缺陷的精度。此外,本文还介绍了如何通过组合不同模型的预测结果来进一步提高检测性能。该研究具有较高的实际应用价值和推广意义。

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