通过粗糙的银岛膜提高SiNx发光器件的光提取效率

与没有银岛薄膜的器件相比,基于ITO / Ag / SiNx / p(+)-Si / Al结构,可以显着提高外部量子效率。 分析表明,由于ITO电极的表面粗糙化导致的光提取效率的提高对这种增强起了主要作用。 自发发射速率和载流子注入能级的提高引起的内部量子效率的提高也具有指导意义。 我们的结果表明,局部表面等离子体激元增强的基于SiNx的发光器件显示出对开发高效基于Si的光学器件的巨大希望。