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氢等离子体表面处理和AlxOx保护环结构增强AZO / Si肖特基势垒二极管的电特性

上传者: 2021-05-05 09:53:07上传 PDF文件 1.5MB 热度 16次
氢等离子体表面处理和AlxOx保护环结构增强AZO / Si肖特基势垒二极管的电特性
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