激光全息术在半导体工业中的应用 上传者：qq_10421 2021-04-30 20:41:21上传 PDF文件 1.38MB 热度 35次 激光全息术的支持者们认为该技术已经大规模地进入半导体工业。对半导体工业进行冲击的动力大部分来自Insystems公司。该公司最近研制了一种用全息术检查掩膜和硅晶片的样机系统,还发展了用全息法印刷半导体晶片的技术,特征尺寸可以小到0.25微米。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
