一种三次非旋转对称的相位板的检测系统设计

作为零位干涉检测方法中非常有前途的一种方法,计算全息可以用于非旋转对称的非球面的检测。以三次相位板为例,阐述了利用计算全息图检测非旋转对称的非球面的基本原理。分析并推导了三次相位传播过程引入的高阶波像差的理论公式,给出了三次相位板的检测系统的设计结果。详细讨论了计算全息图衍射级次的分离以及计算全息图的二元化,给出了振幅型的计算全息图的图样。计算全息图的刻线最小间隔是40 μm,计算全息图的制作精度对检测结果的波前误差的影响仅仅为0.005λ。对检测系统作了详细的公差分析,结果表明所有调整公差对整个检测系统的影响和方根值为83.954 nm。